主要是由蜂巢狀沸石轉輪濃縮搭配熱焚化爐(Thermal Oxidizer:TO、 CTO、 RTO 、 RCO)所組成之高效率揮發性有機物(VOCs)廢氣處理系統。
對於半導體、光電業、表面塗裝及印刷業…等具有高風量低濃度廢氣特性,可應用在濃縮轉輪濃縮倍率介於4倍到25倍之間,能夠持續達到90%~98%的處理效率,二級串聯濃縮,削減率可以達到99%以上。
主要是由蜂巢狀沸石轉輪濃縮搭配熱焚化爐(Thermal Oxidizer:TO、 CTO、 RTO 、 RCO)所組成之高效率揮發性有機物(VOCs)廢氣處理系統。
對於半導體、光電業、表面塗裝及印刷業…等具有高風量低濃度廢氣特性,可應用在濃縮轉輪濃縮倍率介於4倍到25倍之間,能夠持續達到90%~98%的處理效率,二級串聯濃縮,削減率可以達到99%以上。
蜂巢狀沸石濃縮轉輪之主要材料為玻璃纖維,經高溫550 ℃燒結而成的蜂巢狀基材內塗佈至少50%wt以上之高矽鋁比沸石粉末之吸附劑,可利用該塗佈之沸石特定微孔徑與特性對於半導體、光電業、表面塗裝及印刷業…等主要有機污染物 ( 除高沸點或聚合性VOCs…外,如IPA 、Acetone 、 PGMEA 、 PGME、 Toluene 、 MEK 、Xylene、EAC… )具高吸、脫附效率之特性,使原本具高風量、低濃度之VOCs廢氣,經沸石濃縮轉換成低風量、高濃度之廢氣,降低後端最終處理設備之成本。
